INNOV-EMS电力监控管理系统在山东有研艾斯12英寸大硅片产业化项目中的应用

INNOV-EMS电力监控管理系统在山东有研艾斯12英寸大硅片产业化项目中的应用

一、项目背景

山东有研艾斯“12英寸集成电路用大硅片产业化项目"位于山东省德州市经济开发区，总投资62亿元，建筑面积超8万平方米，涵盖1#硅片加工厂房（核心生产区）、2#综合动力站（能源供给核心）、3#综合科研楼（技术研发区）等关键建筑。项目建成后将成为我国北方地区规模大的集成电路用大硅片生产基地，年产360万片12英寸硅片，为区域新旧动能转换与集成电路产业自主可控注入关键动力。

作为集成电路产业的“源头基石"，12英寸大硅片的稳定量产直接决定芯片制造的产能与效率。硅片加工过程中电力中断哪怕毫秒级，都可能导致晶圆报废，需绝对保障供电连续性。动力站、净化车间、科研设备等多场景用电需求差异化大，需精准匹配各环节供电参数。传统人工巡检存在“覆盖不全、响应滞后、数据碎片化"问题，无法满足24小时实时监控需求。为此，项目决定部署电力监控管理系统，实现从设备状态到电能质量的全维度管控，最终达成配电室“无人值守、远程可控、风险预控"的目标。

二、系统需求分析

根据半导体生产对配电系统的严苛要求，电力监控管理系统需要满足以下核心需求：

高安全性供电保障：硅片加工过程中电力中断哪怕毫秒级，都可能导致晶圆报废，系统需确保供电连续性，对关键回路进行冗余监测与快速故障隔离。

多场景差异化监控：动力站、净化车间、科研设备等多场景用电需求差异化大，需精准匹配各环节供电参数，实现分区域、分设备的精准监控。

电能质量全面监测：半导体生产设备对电压波动、谐波含量等电能质量指标极为敏感，系统需对电能质量进行实时分析，保障精密设备运行环境。

全闭环智能预警：需实现从设备状态到电能质量的全维度管控，变“被动抢修"为“主动预警"，在故障发生前识别隐患。

三、系统设计方案

1. 系统架构

电力监控系统采用“本地部署+光纤组网"模式，以“终端采集层-通讯传输层-数据处理层"三层架构为核心，实现从设备数据采集到智能分析的全链路覆盖。

终端采集层：覆盖1#硅片厂房F1配变电所、2#综合动力站两大核心区域，针对不同设备类型分通道接入，包括34台综合保护装置、315台多功能仪表、12台变压器测温装置、1台电能质量分析仪表、1台直流屏、1台柴油发电机，全面捕捉配电系统的电气参数、设备状态、温度数据等关键信息。

通讯传输层：在两大区域的直流屏旁设置专用通信机柜，内置子站工作站、网络交换机、数据采集器、光纤收发器等设备，通过光纤将采集到的终端数据稳定上传至核心控制室，避免信号干扰，确保数据传输实时性。

数据处理层：将系统主机服务器设置在1#硅片厂房2层FMCS安防控制室，作为整个监控系统的“大脑"，负责接收、分析、存储全项目的配电数据，支撑后续的监控、报警、报表生成等功能。

2. 通讯组网

系统采用光纤组网方式，通过专用通信机柜实现终端数据的稳定上传。光纤传输有效规避了工业环境中的电磁干扰，保障了数据采集的准确性和实时性，满足半导体生产对监控系统高可靠性的要求。

四、系统核心功能

配电系统全景监控：系统以可视化界面展示各配电室运行状态，实时刷新电压、电流、功率、功率因数等电参量，运维人员通过统一平台即可掌握全项目配电系统运行工况。

变压器状态监测：系统对12台变压器测温装置进行实时数据采集，监测变压器运行温度，确保核心供电设备处于安全运行状态，为能效管理和故障预判提供数据支撑。

电能质量监测与分析：系统接入电能质量分析仪表，对电压偏差、谐波含量等指标进行实时监测与分析，保障半导体精密设备的用电环境稳定可靠。

总分平衡分析：系统实现总分平衡分析功能，对各级配电回路的电能数据进行对比校验，及时发现计量异常或非正常用电情况。

智能报警与事件管理：系统对设备异常、参数越限、通信故障等事件实时告警，支持分级推送。所有报警信息自动存入历史数据库，支持按时间、类型检索，为事故分析提供依据。

报表管理与数据追溯：系统自动生成各类用电报表，支持日、月、年统计，为项目用电成本核算与能效管理提供数据支撑。

五、应用效果

该系统投入运行后，山东有研艾斯12英寸大硅片产业化项目配电系统实现了从“人工巡检"到“智能感知"的转变。运维人员通过统一监控平台即可掌握1#硅片厂房、2#综合动力站等核心区域的配电运行状态，电能质量监测功能为精密半导体设备提供了可靠的用电环境保障。

系统实现了配电室“无人值守、远程可控、风险预控"的目标，有效规避了因电力异常导致晶圆报废的风险。该项目的成功实施，验证了电力监控管理系统在半导体制造这一高精尖产业场景下的适应能力，为同类集成电路产业项目的电力监控管理系统建设提供了可借鉴的实施范例。

六、公司介绍

南京舜高智能科技有限公司成立于2020年4月2日，注册资本100万元，注册地址位于南京经济技术开发区恒泰路汇智科技园A2栋506室，是一家小型科技企业，定位为集产品开发、生产、销售于一体的专业能效管理与用电安全领域生产厂家，面向电力、建筑、工业、数据中心等领域，提供变电所运维云平台、预付费管理云平台等云平台方案，智能变配电电力监控系统、建筑能耗管理系统等监控管理系统，以及多功能电力仪表、导轨式电能表、电动机保护器、智能照明控制器等自主生产的智能硬件产品，2024年获评高新技术企业（证书号GR202432008164，有效期至2027年12月）、Aji纳税人，同时拥有有效期至2027年10月30日的ISO9001质量管理体系认证，累计持有9件商标、9件专li（其中6件发明专li）、12件软件著作权，2022年累计落地超500个项目，服务客户覆盖陕煤集团、美的集团、京东物流园等主体，在国内主要城市均配置销售与技术支持团队，可提供7*24小时技术咨询、上门安装调试与操作人员培训服务，也支持产品定制开发，依托信息化生产管理体系保障规模化交付能力。

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